無塵室是應(yīng)用于電子、微電子等相關(guān)制造工藝的一種受控環(huán)境,它對環(huán)境中的溫濕度、潔凈度、室內(nèi)壓力、風(fēng)速、照度等均有一定的要求,因此潔凈度管控對無塵室性能的影響至關(guān)重要。若要控制無塵室的潔凈度,找到影響無塵室內(nèi)潔凈度的因素非常關(guān)鍵。根據(jù)許多行業(yè)人士的細(xì)心分析,總結(jié)了下面一些影響因素:
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1、無塵室內(nèi)的作業(yè)人員要嚴(yán)格按照無塵室的操作規(guī)則來工作。無塵室的門窗應(yīng)是隨時(shí)處于關(guān)閉狀態(tài)的,無塵室與非無塵室之間人員和物品的傳遞應(yīng)有緩沖區(qū),并有風(fēng)浴設(shè)備來阻止氣流的對流,與生產(chǎn)無關(guān)的人員不行進(jìn)入無塵室。
2、無塵室的換氣次數(shù)和空調(diào)凈化系統(tǒng)的送風(fēng)量是維持無塵室正壓和潔凈度的主要內(nèi)因,但是它受凈化系統(tǒng)中各級過濾器的終阻力的制約。
3、無塵室內(nèi)的設(shè)備要求定期、定時(shí)、定人進(jìn)行清潔維護(hù),清潔中所用的物料和清潔液體是否符合潔凈室管理的規(guī)定等。
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4、對使用者來講無塵室的潔凈度是他們最關(guān)心的焦點(diǎn),運(yùn)行中的無塵室最大的污染源是人和進(jìn)入無塵室的物品,生產(chǎn)中產(chǎn)生的塵粒也是影響室內(nèi)潔凈度的另一原因。
5、人流和物流的合理分流對維護(hù)風(fēng)淋房內(nèi)的潔凈度有著重要的意義。人在進(jìn)無塵室前是否更衣吹淋,著裝是否符合潔凈管理規(guī)范的標(biāo)準(zhǔn),一些生產(chǎn)工藝特殊的對潔凈度要求高的人員在進(jìn)入前還要進(jìn)行洗浴;物在進(jìn)無塵室前是否更換包裝吹淋,更換后的物料是否符合潔凈室標(biāo)準(zhǔn)等等。
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