潔凈室增壓產(chǎn)生空氣壓差是無(wú)塵室建設(shè)裝修工程必霜要做到的項(xiàng)目,它的作用是保證潔凈室遠(yuǎn)離其接近區(qū)域的污染,操控有害污染物的流向,防止不一樣區(qū)域間的穿插污染,并協(xié)助堅(jiān)持所請(qǐng)求的溫度和濕度水平。
潔凈室與無(wú)塵室建設(shè)裝修工程中,有關(guān)走廊、別的區(qū)域的壓差,應(yīng)堅(jiān)持在0.06kPa--1.25×10-3kPa之間。一般制藥公司所請(qǐng)求的壓差值比這更高,在不一樣區(qū)域之間選用層疊壓差來(lái)防止穿插污染。在不一樣的區(qū)域間設(shè)備一系列的層疊式氣閘和空氣快速分散的正壓門(mén),然后發(fā)生壓差。
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微電子潔凈室規(guī)劃中,一般在無(wú)塵室建設(shè)裝修工程潔凈室的進(jìn)口,有一個(gè)半密封的氣閘來(lái)使壓差堅(jiān)持在1.25kPa--4.98×10-3kPa之間。更換衣服間和穿衣間用氣閘分離,進(jìn)口的機(jī)械風(fēng)淋相關(guān)于它的必要性而言,更是設(shè)備文明和潔凈室的原則問(wèn)題。
很多微電子和光刻潔凈室成功地選用氣壓操控,只要在大門(mén)悉數(shù)翻開(kāi)的狀況下,進(jìn)口處的風(fēng)量堅(jiān)持在每分鐘50到100英尺。一些生物制藥公司請(qǐng)求主動(dòng)壓差操控,選用彌補(bǔ)新風(fēng)的方法,主動(dòng)補(bǔ)足經(jīng)過(guò)門(mén)走漏的空氣。
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溫度和濕度的改變能夠引起生產(chǎn)制造設(shè)備的差錯(cuò),然后影響工藝生產(chǎn)過(guò)程的可重復(fù)性,終究致使產(chǎn)品合格率下降。因而,無(wú)塵室建設(shè)裝修工程潔凈室對(duì)溫度嚴(yán)格操控請(qǐng)求是顯而易見(jiàn)的。
一般狀況下,無(wú)塵室建設(shè)裝修工程設(shè)計(jì)師在規(guī)劃時(shí),需要對(duì)區(qū)域內(nèi)對(duì)溫度進(jìn)行準(zhǔn)確的操控,溫度改變控制。一般認(rèn)為潔凈室外的潔凈度、溫度、濕度和氣壓等項(xiàng)目的層疊性是非常容易到達(dá)的,而且很容易堅(jiān)持。
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假如對(duì)潔凈室內(nèi)的暖通、動(dòng)力專(zhuān)門(mén)設(shè)備和操控體系有嚴(yán)格要求,在每個(gè)潔凈室區(qū)域內(nèi),有部分主動(dòng)調(diào)溫器來(lái)操控規(guī)劃溫度。它能驅(qū)動(dòng)設(shè)備在風(fēng)管上的部分再熱或再冷盤(pán)管作業(yè),來(lái)滿意房間內(nèi)的濕熱的請(qǐng)求。假如運(yùn)用風(fēng)機(jī)盤(pán)管設(shè)備,部分主動(dòng)調(diào)溫器操控本區(qū)域內(nèi)盤(pán)管出口空氣的溫度。
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