消防設施是潔凈廠房一個重要組成部分,其重要性不僅因為其工藝設備及土建造價昂貴,更由于潔凈廠房是相對密閉的建筑,有的甚至為無窗廠房。潔凈室內通道狹窄而曲折,出入口相對較少,致使人員疏散和救火都相當困難。由于廠房內有大量的化學物質(包括建筑材料),失火后產生大量毒氣,人員很難進人。今天半導體潔凈室公司解析下關于潔凈廠房消防用水由哪幾部分組成。
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①室內、外消火栓供水系統消火栓用水量應根據廠房的生產類別、建筑物的耐火等級及建筑物的體積等因素,根據《建筑設計防火規(guī)范》(GBJ16——87, 2001年版)確定。何如某生產集成電路的潔凈廠房,其生產類別為丙類,建筑物的耐火等級為一級,建筑物體積大于50 000m3,根據規(guī)范,其室內消火栓用水量為10L/s、室外消火栓用水量為40L/s。
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②自動噴水滅火系統其用水量應根據設置場所的火災危險等級,根據《自動噴水滅火系統設計規(guī)范》(GB 50084- 2001) 確定。同樣以上述的潔凈廠房為例,按中危險級I級設計,其噴水強度為6L/(min'm2),作用面積為160 m2,計算用水量為20.8L/sa除此之外,還應根據有關規(guī)范設置水成膜泡沫滅火系統(例如,集成電路生產的有機溶劑配制間)和水噴霧滅火系統(例如,備用柴油發(fā)電機房)。除了消防給水外,還應設置必要的氣體滅火系統(用于重要主機房、高低壓配電室等),常用的滅火劑有CO2、FM-200 (七氟丙烷)、IG-541 (CO2、Ar、N的混合氣體)等。
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