無(wú)塵凈化車間如何升級(jí)改造【東鑫凈化】

凈化無(wú)塵車間升級(jí)改造的設(shè)計(jì)方案制定，雖然原則應(yīng)該說(shuō)基本相同的，但是由于空氣潔凈度等級(jí)的提升．尤其是由非單向流潔凈室升級(jí)為單向流潔凈室或由 1S06級(jí)/1S05級(jí)潔凈室升級(jí)改造為 1S0 5級(jí)/Is04級(jí)/1s03級(jí)潔凈室時(shí)．無(wú)論是凈化空調(diào)系統(tǒng)的循環(huán)風(fēng)量、無(wú)塵凈化車間的平面和空間布置還是相關(guān)的潔凈技木措施等都有較大或很大的變化，因此無(wú)塵凈化車間的升級(jí)改造除了前面己敘述的設(shè)計(jì)原則外還要考慮下述因素：

①對(duì)凈化無(wú)塵車間的升級(jí)改造，首先應(yīng)該結(jié)合具體工程實(shí)際情況制定的一個(gè)可能實(shí)現(xiàn)的改造方案，根據(jù)升級(jí)改造的目標(biāo)及相關(guān)技術(shù)要求和原有建設(shè)的現(xiàn)狀等，進(jìn)行認(rèn)真、翔實(shí)的多設(shè)計(jì)方緊的技術(shù)經(jīng)濟(jì)比較。這里應(yīng)該特別指出的是此項(xiàng)比較不僅是改造的可能性和經(jīng)濟(jì)性，還應(yīng)包括升級(jí)改置后運(yùn)行費(fèi)用的比較，尤其應(yīng)注意能源消托費(fèi)用的比較。為完成此項(xiàng)任務(wù)，業(yè)主應(yīng)委托有實(shí)踐經(jīng)驗(yàn)、有相應(yīng)資質(zhì)的設(shè)計(jì)單位進(jìn)行調(diào)查、咨詢、規(guī)劃工作。

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②凈化無(wú)塵車間的升級(jí)改造宜優(yōu)先選用各種隔離技術(shù)、微環(huán)境技術(shù)或局部潔凈裝置或?qū)恿髡值燃夹g(shù)手段，對(duì)需要高級(jí)別空氣潔凈度等級(jí)的生產(chǎn)工序、設(shè)備采用微環(huán)境裝置等技術(shù)手段同較低級(jí)別空氣潔凈度等級(jí)的潔凈室分隔或?qū)⒄w潔凈室提高至可行的空氣潔凈度等級(jí)，而對(duì)要求很高級(jí)別空氣潔凈度等級(jí)的生產(chǎn)工序、設(shè)備采用微環(huán)境裝置等技術(shù)手段。

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舉例ISO5潔凈室升級(jí)改道為 ISO4級(jí)和采用徽環(huán)境系統(tǒng)設(shè)計(jì)方案的技術(shù)經(jīng)濟(jì)比較后，采用了微環(huán)境系統(tǒng)的升級(jí)改造方案，以較小的升級(jí)改造費(fèi)用達(dá)到了所需的空氣潔凈度等級(jí)要求，且能源消耗世較低：運(yùn)行后經(jīng)檢測(cè)每一徽環(huán)境裝置均達(dá)到了ISO4 級(jí)以上的綜合性能。據(jù)了解，近年來(lái)許多超大規(guī)模集成電路工廠在進(jìn)行吉凈室升級(jí)改造或新建廠房時(shí)，都將生產(chǎn)廠房按1S05級(jí)/IS06級(jí)單向流潔凈室進(jìn)行設(shè)計(jì)建造及披生產(chǎn)線各工序、設(shè)備的高級(jí)別潔凈度要求采用 SMIF 微環(huán)境系統(tǒng)，達(dá)到了產(chǎn)品生產(chǎn)所秀的空氣潔凈度等級(jí)，既城少了投資費(fèi)用、降低了能源消耗，還有利于生產(chǎn)線的改造、擴(kuò)產(chǎn)要求，具有較好的靈活性。

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    ③無(wú)塵凈化車間升級(jí)改造時(shí)常常要增大凈化空調(diào)系統(tǒng)的儲(chǔ)環(huán)風(fēng)量，即增大潔凈室內(nèi)的換氣次數(shù)或平均風(fēng)速，由此必然需要調(diào)整或更換凈化空調(diào)裝置、增加風(fēng)口的數(shù)量、增大風(fēng)管尺才以及增大供冷（熱）能力等。在實(shí)際工作中，為了降低潔凈室開(kāi)級(jí)改造的投資費(fèi)用．做到調(diào)整變動(dòng)較小，解決的辦法只能是充分了解產(chǎn)品生產(chǎn)工藝情況和原有凈化空調(diào)系統(tǒng)的情況，合理劃分凈化空調(diào)系統(tǒng)，盡可能利用原有的系統(tǒng)及其風(fēng)管，適當(dāng)增設(shè)必要的、改造工作量較少的凈化空調(diào)系統(tǒng)。