電子凈化工程潔凈室的施工內(nèi)容是什么?
對微電子產(chǎn)品生產(chǎn)用潔凈室來說,其潔凈室的施工內(nèi)容(不包括廠房主體結(jié)構(gòu)施工)。
主要有:潔凈室建筑裝飾(含回風地板等)施工,凈化空調(diào)系統(tǒng)及其風管、過濾器的施工安裝,高純水系統(tǒng)及其管線的安裝,高純氣體的系統(tǒng)(含特種氣體供應等)及其管線的安裝,各種排風和排氣系統(tǒng)及其處理設備的安裝。
化學品供應系統(tǒng)及其管線的安裝, 各種排風和排氣系統(tǒng)的及其處理設備的安裝,消防安全報警系統(tǒng)及其控制設備的安裝,變配電、電氣系統(tǒng)及其橋架、配管配線的安裝等。
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